目前國內(nèi)外爪式
無油真空泵的性能可以做以下的評估:
1.無任何摩擦,轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)懸浮。泵腔內(nèi)無任何潤滑油,因而無返油現(xiàn)象發(fā)生,并可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn),一般為3000r/min.
2.可以獨(dú)立工作,可在105pa壓力下啟動。也可以和羅茨真空泵及分子泵組成無油機(jī)組使用。
3.包括春溶劑氣體,多級自動氣鎮(zhèn)使爪式真空泵能抽100﹪的可疑性氣體。且能回收重復(fù)使用。
4.如F2.FH.HCL.CL2.H2SO4.HNO3等,能抽除腐蝕性氣體。能抽出含有少量塵埃的氣體。
5.使用壓縮比達(dá)到10105能作氣體傳輸泵用。
6.功能可進(jìn)一步擴(kuò)展。泵的主題有齒輪,爪式無油真空泵的樣式多樣。電機(jī)和氣體凈化設(shè)備。配套件在入口處配有防返流的閥門,入口處配有截流閥,電器監(jiān)控及報(bào)警裝置。
7.將泵通以凈化氣體。這些閥均可自動開關(guān),入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷。入口處配有截流閥能將泵的入口封閉起來。用于對真空系統(tǒng)進(jìn)行可靠的維護(hù),防止向真空室的返流。多級泵從第二,三,四級起均有凈化氣體入口,以改善被抽介質(zhì)順利通過泵腔。若無此需要,可以不通入凈化氣體。凈化氣體用三個相互獨(dú)立的流量計(jì)和電磁閥分別進(jìn)行流量調(diào)節(jié),用以節(jié)約惰性氣體。
8.遠(yuǎn)距離操作和開關(guān)閥等。當(dāng)泵呈現(xiàn)故障時,電氣監(jiān)控設(shè)備主要有電源。泵能自動停車,返流閥和截流閥一起關(guān)閉或僅有截流罰關(guān)閉。動力和遙控臺有變壓器和整流器,用以提供所需的電流電壓,以滿足監(jiān)控過程的需要。
外爪式無油真空泵能獨(dú)立直接工作,又能同螺桿泵形成機(jī)組,同羅茨泵形成機(jī)組,同分子泵形成機(jī)組,以求更大的抽速與較高的真空度。
外爪式無油真空泵可以任意組合形成單級泵,雙極泵,多級泵以適應(yīng)不同的真空度的要求